真空固化系列晶圆防爆真空固化炉

晶圆防爆真空固化炉

品牌：GYPEX英鹏

型号：ZK-固化系列

价格：电议/面议

一、产品用途：

本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱温度最高可达450℃

二、性能特点：

1.真空度可达10 Pa

2.精体内氧含量：≤20ppm,提供氧含量检测接口

3.日本优易控触摸屏，升降温斜率控制

4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

三、产品基本参数：

型 号： ZK-固化系列

内箱尺寸 ： 20*20*40 ；30*30*60

控温范围：　RT+20℃~450℃

温度波动：　±0.5℃

真 空 度：　10pa

氧 含 量：　 ≤20ppm

内箱材质：　 SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质：　 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料：　硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置：　声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功 率：　　9.0 12.0

电 源：　　AC380V±10%3中50HZ

所经营产品涵盖防爆空调、防爆冰箱、防爆干燥箱、防爆除湿机、防爆加湿机、防爆风幕机、防爆冷库、防爆配电箱、防爆摄像仪、防爆灯具等十几个系列200多个品种。广泛应用于石油、石化、炼油、化工、煤炭、军工、电力、制药、纺织等行业，深受广大用户的认可和信任，并与全国各地的部队，武警、变电站、核电站、航天航空、制药厂、油田、化工厂、通用设备制造厂建立了长期稳固的合作关系