晶圆防爆真空固化炉
品牌:GYPEX英鹏
型号:ZK-固化系列
价格:电议/面议
一、产品用途:
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备,烘箱温度最高可达450℃
二、性能特点:
1.真空度可达10 Pa
2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口
3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制
4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
三、产品基本参数:
型 号: ZK-固化系列
内箱尺寸 : 20*20*40 ;30*30*60
控温范围: RT+20℃~450℃
温度波动: ±0.5℃
真 空 度: 10pa
氧 含 量: ≤20ppm
内箱材质: SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质: 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel
保温材料: 硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置: 声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp
功 率: 9.0 12.0
电 源: AC380V±10%3中50HZ
所经营产品涵盖防爆空调、防爆冰箱、防爆干燥箱、防爆除湿机、防爆加湿机、防爆风幕机、防爆冷库、防爆配电箱、防爆摄像仪、防爆灯具等十几个系列200多个品种。广泛应用于石油、石化、炼油、化工、煤炭、军工、电力、制药、纺织等行业,深受广大用户的认可和信任,并与全国各地的部队,武警、变电站、核电站、航天航空、制药厂、油田、化工厂、通用设备制造厂建立了长期稳固的合作关系